壁灯在半导体制造洁净室中的微妙作用，光影如何影响晶圆质量？
在半导体制造的洁净室中，每一处细节都至关重要，而壁灯作为环境照明的组成部分，往往被视为辅助元素而未被充分重视，其光线分布、亮度及色温对晶圆加工过程中的光刻、曝光等关键步骤有着不可忽视的影响。壁灯的光线需均匀柔和，避免产生阴影或光斑，以免影响...
在半导体制造的洁净室中，每一处细节都至关重要，而壁灯作为环境照明的组成部分，往往被视为辅助元素而未被充分重视，其光线分布、亮度及色温对晶圆加工过程中的光刻、曝光等关键步骤有着不可忽视的影响。壁灯的光线需均匀柔和，避免产生阴影或光斑，以免影响...