壁灯在半导体制造洁净室中的微妙作用，光影如何影响晶圆质量？

在半导体制造的洁净室中，每一处细节都至关重要，而壁灯作为环境照明的组成部分，往往被视为辅助元素而未被充分重视，其光线分布、亮度及色温对晶圆加工过程中的光刻、曝光等关键步骤有着不可忽视的影响。

壁灯的光线需均匀柔和，避免产生阴影或光斑，以免影响曝光机的精确对准和晶圆表面的均匀曝光，过强的光线可能导致光刻胶过度曝光，影响图案的清晰度和精度；而光线不足则可能使曝光不均，产生缺陷，壁灯的色温应与曝光机光源相匹配，以减少因色温差异引起的色彩偏差。

在半导体制造的洁净室中，壁灯的选择与布置需经过精心设计，以确保其既能提供足够且适宜的光照条件，又不干扰到精密的加工过程，这微妙的光影平衡，正是保障晶圆质量不可或缺的一环。