门碰在半导体制造中的微妙作用,如何确保晶圆传输的精准对接?
在半导体制造的精密世界里,每一个细节都至关重要,而“门碰”这一看似不起眼的装置,实则扮演着晶圆传输中不可或缺的角色,门碰,顾名思义,是安装在晶圆传输机械手或机器人上的小部件,其作用是在晶圆盒或晶圆托盘进入或离开处理室时,提供轻柔而准确的触碰...
在半导体制造的精密世界里,每一个细节都至关重要,而“门碰”这一看似不起眼的装置,实则扮演着晶圆传输中不可或缺的角色,门碰,顾名思义,是安装在晶圆传输机械手或机器人上的小部件,其作用是在晶圆盒或晶圆托盘进入或离开处理室时,提供轻柔而准确的触碰...