门碰在半导体制造中的微妙作用，如何确保晶圆传输的精准对接？

在半导体制造的精密世界里，每一个细节都至关重要，而“门碰”这一看似不起眼的装置，实则扮演着晶圆传输中不可或缺的角色，门碰，顾名思义，是安装在晶圆传输机械手或机器人上的小部件，其作用是在晶圆盒或晶圆托盘进入或离开处理室时，提供轻柔而准确的触碰，确保传输过程中的精准对接。

这种微妙的触碰不仅关乎物理上的精确度，更关乎对晶圆可能产生的微小应力或损伤的严格控制，因为即使是微小的偏差或应力，都可能对晶圆的最终质量产生不可估量的影响，门碰的设计与选材需经过严格考量，既要保证足够的接触力以确保稳定对接，又要避免对晶圆造成任何不必要的损伤。

在半导体制造的精细工艺中，“门碰”虽小，却至关重要，它不仅是晶圆传输的“守护者”，更是确保产品质量的关键一环。