液体在半导体制造中的微妙作用，如何影响晶圆表面处理？
在半导体制造的精密工艺中，液体物理学扮演着不可或缺的角色，尤其是在晶圆表面处理这一关键环节，液体的流动特性、表面张力以及与固体的相互作用，直接关系到晶片的清洁度、涂布均匀性及后续加工的成败。一个常被忽视但至关重要的问题是：如何精确控制液体在...
在半导体制造的精密工艺中，液体物理学扮演着不可或缺的角色，尤其是在晶圆表面处理这一关键环节，液体的流动特性、表面张力以及与固体的相互作用，直接关系到晶片的清洁度、涂布均匀性及后续加工的成败。一个常被忽视但至关重要的问题是：如何精确控制液体在...