催化化学在半导体制造中的‘隐秘推手’,如何精准调控反应速率?
在半导体制造的精密工艺中,催化化学扮演着不可或缺的角色,它像一位隐秘的推手,在纳米尺度上调控着材料合成的每一个步骤,影响着晶体生长、掺杂效率乃至最终器件的性能,一个值得深思的问题是:如何利用催化化学的原理,实现半导体材料生长过程中反应速率的...
在半导体制造的精密工艺中,催化化学扮演着不可或缺的角色,它像一位隐秘的推手,在纳米尺度上调控着材料合成的每一个步骤,影响着晶体生长、掺杂效率乃至最终器件的性能,一个值得深思的问题是:如何利用催化化学的原理,实现半导体材料生长过程中反应速率的...