如何提升半导体制造中的能源效率，挑战与对策
在半导体制造的复杂工艺链中，能源效率不仅关乎生产成本，更是实现可持续发展的重要一环，当前，随着全球对节能减排的重视，如何有效提升半导体制造的能源效率成为了一个亟待解决的问题。一个关键挑战在于，半导体制造过程中的高能耗环节主要集中在晶圆加工、...
在半导体制造的复杂工艺链中，能源效率不仅关乎生产成本，更是实现可持续发展的重要一环，当前，随着全球对节能减排的重视，如何有效提升半导体制造的能源效率成为了一个亟待解决的问题。一个关键挑战在于，半导体制造过程中的高能耗环节主要集中在晶圆加工、...