如何通过数学优化提升半导体制造的良率?
在半导体制造的复杂工艺中,良率的提升是关键目标之一,而数学优化,尤其是统计过程控制和机器学习算法,为这一目标提供了强大的工具。通过统计过程控制(SPC),我们可以利用数学模型来监控生产过程中的关键参数,如温度、压力和化学成分等,这些模型能够...
在半导体制造的复杂工艺中,良率的提升是关键目标之一,而数学优化,尤其是统计过程控制和机器学习算法,为这一目标提供了强大的工具。通过统计过程控制(SPC),我们可以利用数学模型来监控生产过程中的关键参数,如温度、压力和化学成分等,这些模型能够...