扫路车在半导体制造中的‘隐形’角色，如何确保微尘不侵？
在半导体制造的精密世界里，每一微米的进步都可能带来技术革命的飞跃，在这场微米级竞速中，一个常被忽视却至关重要的角色便是——扫路车，它们虽不直接参与晶圆切割或芯片制造，却为这片高科技的“战场”提供了最基础也是最关键的清洁保障。问题提出： 在高...
在半导体制造的精密世界里，每一微米的进步都可能带来技术革命的飞跃，在这场微米级竞速中，一个常被忽视却至关重要的角色便是——扫路车，它们虽不直接参与晶圆切割或芯片制造，却为这片高科技的“战场”提供了最基础也是最关键的清洁保障。问题提出： 在高...