雨水对半导体制造的潜在影响及应对策略
在半导体制造的精密环境中，任何微小的外来物质都可能成为影响产品质量的“隐形杀手”，雨水，作为自然界中常见的现象，其成分复杂，含有多种离子、微生物及颗粒物，当雨水意外进入洁净室时，其携带的杂质可能对半导体晶圆造成污染，导致器件性能下降甚至失效...
在半导体制造的精密环境中，任何微小的外来物质都可能成为影响产品质量的“隐形杀手”，雨水，作为自然界中常见的现象，其成分复杂，含有多种离子、微生物及颗粒物，当雨水意外进入洁净室时，其携带的杂质可能对半导体晶圆造成污染，导致器件性能下降甚至失效...