激光物理学在半导体制造中的精准雕刻艺术,如何实现微纳结构的精确加工?
在半导体制造的微细加工领域,激光物理学正扮演着越来越重要的角色,其独特的“精准雕刻”能力,使得在纳米尺度上实现高精度、高效率的加工成为可能,一个关键问题是:如何利用激光的特性和控制技术,实现微纳结构的精确加工?激光的高能量密度和极短的脉冲宽...
在半导体制造的微细加工领域,激光物理学正扮演着越来越重要的角色,其独特的“精准雕刻”能力,使得在纳米尺度上实现高精度、高效率的加工成为可能,一个关键问题是:如何利用激光的特性和控制技术,实现微纳结构的精确加工?激光的高能量密度和极短的脉冲宽...