白山工艺,如何在半导体制造中提升良率与成本控制?
在半导体制造的复杂工艺中,每一个微小的细节都可能影响最终的良率和成本,而“白山”现象,作为生产过程中常见的缺陷之一,其成因复杂且难以预测,对良率和成本控制构成了不小的挑战。白山现象通常发生在晶圆表面,其形态如微小的山峰,由晶圆加工过程中的化...
在半导体制造的复杂工艺中,每一个微小的细节都可能影响最终的良率和成本,而“白山”现象,作为生产过程中常见的缺陷之一,其成因复杂且难以预测,对良率和成本控制构成了不小的挑战。白山现象通常发生在晶圆表面,其形态如微小的山峰,由晶圆加工过程中的化...