铂金在半导体制造中的关键角色,是‘催化剂’还是‘守护者’?
在半导体制造的精密工艺中,铂金不仅是一个璀璨的金属符号,更是不可或缺的“幕后英雄”,其独特的物理和化学性质,使铂金在多个环节中发挥着不可替代的作用。作为催化剂,铂金能够促进化学反应的进行,特别是在外延生长、金属有机化学气相沉积(MOCVD)...
在半导体制造的精密工艺中,铂金不仅是一个璀璨的金属符号,更是不可或缺的“幕后英雄”,其独特的物理和化学性质,使铂金在多个环节中发挥着不可替代的作用。作为催化剂,铂金能够促进化学反应的进行,特别是在外延生长、金属有机化学气相沉积(MOCVD)...