机械工程在半导体制造中的‘隐秘’角色,如何精准控制微米级精度?
在半导体制造的精密世界里,机械工程扮演着不为人知的“幕后英雄”角色,尽管人们常将焦点放在化学气相沉积、光刻等工艺上,但机械工程的贡献同样举足轻重。机械工程确保了半导体制造设备的稳定运行与高精度,从晶圆传输的机械臂到精密的切割工具,每一处细节...
在半导体制造的精密世界里,机械工程扮演着不为人知的“幕后英雄”角色,尽管人们常将焦点放在化学气相沉积、光刻等工艺上,但机械工程的贡献同样举足轻重。机械工程确保了半导体制造设备的稳定运行与高精度,从晶圆传输的机械臂到精密的切割工具,每一处细节...