声学在半导体制造中的隐秘角色,如何利用声波提升晶圆加工精度?
在半导体制造的精密世界里,每一微米的进步都可能带来技术革命性的飞跃,鲜有人知的是,声学技术正悄然在晶圆加工的舞台上扮演着重要角色。传统上,半导体晶圆的加工依赖于光刻、蚀刻等物理和化学方法,其精度虽高,但受限于设备复杂性和成本,而声学技术的引...
在半导体制造的精密世界里,每一微米的进步都可能带来技术革命性的飞跃,鲜有人知的是,声学技术正悄然在晶圆加工的舞台上扮演着重要角色。传统上,半导体晶圆的加工依赖于光刻、蚀刻等物理和化学方法,其精度虽高,但受限于设备复杂性和成本,而声学技术的引...