光化学,半导体制造中的光与化学的完美邂逅
在半导体制造的浩瀚领域中,光化学技术如同一束光,照亮了微纳加工的深邃之路,如何利用光化学效应在半导体表面精准“绘图”,实现微米甚至纳米级别的图案雕刻呢?光化学刻蚀,正是这一技术领域的璀璨明珠,它利用特定波长的光与半导体材料表面发生的化学反应...
在半导体制造的浩瀚领域中,光化学技术如同一束光,照亮了微纳加工的深邃之路,如何利用光化学效应在半导体表面精准“绘图”,实现微米甚至纳米级别的图案雕刻呢?光化学刻蚀,正是这一技术领域的璀璨明珠,它利用特定波长的光与半导体材料表面发生的化学反应...