处暑时节,半导体制造中的热管理挑战与应对
随着“处暑”的到来,我国大部分地区逐渐进入秋季,气温由炎热转向温凉,在半导体制造的“热”世界里,温度的微小变化却可能对生产过程产生重大影响。在半导体制造中,高温环境不仅影响晶圆的生产质量,还可能加速设备老化,增加故障率,而“处暑”时节,虽然...
随着“处暑”的到来,我国大部分地区逐渐进入秋季,气温由炎热转向温凉,在半导体制造的“热”世界里,温度的微小变化却可能对生产过程产生重大影响。在半导体制造中,高温环境不仅影响晶圆的生产质量,还可能加速设备老化,增加故障率,而“处暑”时节,虽然...