午间‘热’潮’,半导体制造中的温度控制挑战
在半导体制造的精密工艺中,温度控制是至关重要的环节,而中午时分,随着太阳辐射增强,车间内温度往往急剧上升,这对制造过程构成了不小的挑战。高温环境容易导致晶圆变形,影响其几何尺寸和表面质量,进而影响芯片的性能和可靠性,高温还会加速化学反应速率...
在半导体制造的精密工艺中,温度控制是至关重要的环节,而中午时分,随着太阳辐射增强,车间内温度往往急剧上升,这对制造过程构成了不小的挑战。高温环境容易导致晶圆变形,影响其几何尺寸和表面质量,进而影响芯片的性能和可靠性,高温还会加速化学反应速率...