研究所实验室中的‘隐形’挑战,如何确保微纳加工环境的纯净度?
在半导体制造的精密世界里,研究所实验室不仅是创新的摇篮,也是对纯净度要求最为苛刻的场所之一,微纳加工过程中,哪怕是最微小的颗粒或气体分子,都可能成为影响芯片性能甚至导致制程失败的“隐形杀手”,如何维持实验室环境的超净状态,成为了一个亟待解决...
在半导体制造的精密世界里,研究所实验室不仅是创新的摇篮,也是对纯净度要求最为苛刻的场所之一,微纳加工过程中,哪怕是最微小的颗粒或气体分子,都可能成为影响芯片性能甚至导致制程失败的“隐形杀手”,如何维持实验室环境的超净状态,成为了一个亟待解决...