铂金在半导体制造中的‘隐秘’角色,从催化剂到微细加工的桥梁
在半导体制造的浩瀚技术海洋中,铂金以其独特的物理化学性质,扮演着不为人知却至关重要的角色,一个常被忽视却又关键的问题是:铂金如何成为连接传统制造与先进微纳加工的桥梁?答案在于其卓越的催化性能与高熔点特性,在化学气相沉积(CVD)过程中,铂金...
在半导体制造的浩瀚技术海洋中,铂金以其独特的物理化学性质,扮演着不为人知却至关重要的角色,一个常被忽视却又关键的问题是:铂金如何成为连接传统制造与先进微纳加工的桥梁?答案在于其卓越的催化性能与高熔点特性,在化学气相沉积(CVD)过程中,铂金...
在半导体制造的浩瀚技术海洋中,铂金(Pt)以其独特的物理化学性质,在微电子学领域扮演着不为人知的“幕后英雄”角色,尽管人们常将目光聚焦于硅、镓等半导体材料上,铂金却以其卓越的催化性能和高温稳定性,在关键工艺步骤中发挥着不可替代的作用。在金属...