如何运用数学优化半导体制造中的工艺参数？
在半导体制造的复杂工艺中，精确控制各种参数是确保产品质量和产量的关键，由于工艺步骤繁多且相互关联，如何有效地调整这些参数成为了一个巨大的挑战。数学优化技术如线性规划、非线性规划、遗传算法等，可以发挥重要作用，通过建立工艺参数与产品性能之间的...
半导体制造工艺参数
如何通过数学优化半导体制造中的工艺参数？
在半导体制造的复杂工艺中，精确控制各种参数是确保产品质量和产量的关键，而数学，作为一门研究数量、结构、变化以及空间等概念的学科，在优化这些工艺参数中扮演着至关重要的角色。以化学机械抛光（CMP）为例，这是一种用于平坦化晶圆表面的关键工艺，通...