铁饼在半导体制造中的神秘角色,是工具还是技术关键?
在半导体制造的浩瀚技术海洋中,有一种看似不起眼却至关重要的“铁饼”——它并非真正的铁质圆盘,而是指用于晶圆传输和处理的特殊载体,在高度精密的半导体生产线上,这些铁饼承载着直径几英寸至几十英寸不等的晶圆,穿梭于各个工序之间,成为连接不同工艺步...
在半导体制造的浩瀚技术海洋中,有一种看似不起眼却至关重要的“铁饼”——它并非真正的铁质圆盘,而是指用于晶圆传输和处理的特殊载体,在高度精密的半导体生产线上,这些铁饼承载着直径几英寸至几十英寸不等的晶圆,穿梭于各个工序之间,成为连接不同工艺步...