烤箱在半导体制造中的‘隐形’角色，是热处理的艺术还是误用的陷阱？
在半导体制造的精密世界里，烤箱似乎是一个与微米级工艺不太相关的设备，正是这看似不起眼的烤箱，在热处理环节扮演着至关重要的角色，热处理是半导体制造中不可或缺的一环，它通过精确控制温度和时间，对硅片进行扩散、退火、氧化等过程，直接影响着芯片的性...
在半导体制造的精密世界里，烤箱似乎是一个与微米级工艺不太相关的设备，正是这看似不起眼的烤箱，在热处理环节扮演着至关重要的角色，热处理是半导体制造中不可或缺的一环，它通过精确控制温度和时间，对硅片进行扩散、退火、氧化等过程，直接影响着芯片的性...