鸡尾酒效应在半导体制造中的启示,如何优化多层结构的一致性?
在半导体制造的精密世界里,每一层薄膜的沉积都如同调制一杯精妙的鸡尾酒,要求精确控制成分比例与层次结构,不同于调酒师的是,这里容不得丝毫误差,否则将影响整个器件的性能与可靠性,这便是“鸡尾酒效应”在半导体制造中的体现——每一层薄膜的微小差异,...
在半导体制造的精密世界里,每一层薄膜的沉积都如同调制一杯精妙的鸡尾酒,要求精确控制成分比例与层次结构,不同于调酒师的是,这里容不得丝毫误差,否则将影响整个器件的性能与可靠性,这便是“鸡尾酒效应”在半导体制造中的体现——每一层薄膜的微小差异,...