探索半导体制造中的李子现象,如何优化工艺以提升良率?
在半导体制造的复杂工艺链中,常会遇到一种被称为“李子”的现象,这并非指真实的水果,而是指因工艺控制不当或设备参数设置不合理,导致部分晶圆上芯片的电性参数出现异常,如同被“染黑”的李子在果篮中显得格格不入,这一现象不仅影响产品的良率,还增加了...
在半导体制造的复杂工艺链中,常会遇到一种被称为“李子”的现象,这并非指真实的水果,而是指因工艺控制不当或设备参数设置不合理,导致部分晶圆上芯片的电性参数出现异常,如同被“染黑”的李子在果篮中显得格格不入,这一现象不仅影响产品的良率,还增加了...