金属材料在半导体制造中的‘隐秘角色’，是助力还是障碍？
在半导体制造的精密世界里，我们往往将目光聚焦于硅片的纯度与工艺的微细之处，却容易忽视那些在背后默默支撑的金属材料，它们不仅是设备的构成基石，更在微电子学的奇迹中扮演着不可或缺的角色。问题提出： 在半导体制造的复杂流程中，如何平衡金属材料的导...
金属材料
金属材料在半导体制造中的‘双刃剑’角色是什么？
在半导体制造的精密工艺中，金属材料扮演着不可或缺却又复杂多面的角色，它们既是构建电路的关键元素，也是可能引入缺陷、影响性能的潜在来源，铜（Cu）和钨（W）是两种典型的金属材料，它们在半导体制造中的运用尤为引人注目。铜，作为互连材料，其优良的...