夹克在半导体制造中的隐形角色,如何确保晶圆传输的无瑕对接?
在半导体制造的精密工艺中,每一道工序的衔接都至关重要,而“夹克”——在这里特指用于承载和传输晶圆的真空夹具,正是这一系列精密操作中的关键一环。在晶圆从加工设备到检测设备的转移过程中,夹克不仅需确保晶圆的稳定固定,防止微粒污染和划伤,还要在高...
在半导体制造的精密工艺中,每一道工序的衔接都至关重要,而“夹克”——在这里特指用于承载和传输晶圆的真空夹具,正是这一系列精密操作中的关键一环。在晶圆从加工设备到检测设备的转移过程中,夹克不仅需确保晶圆的稳定固定,防止微粒污染和划伤,还要在高...