地震波与半导体制造,微震监测在晶圆厂的应用潜力?
在半导体制造的精密世界里,微小的振动都可能成为影响产品质量的“隐形杀手”,而地震学,这一研究地球震动现象的学科,其原理和技术在半导体生产中竟能找到意想不到的“用武之地”。问题: 如何在不中断生产的情况下,有效监测和减少地震对半导体晶圆厂的影...
在半导体制造的精密世界里,微小的振动都可能成为影响产品质量的“隐形杀手”,而地震学,这一研究地球震动现象的学科,其原理和技术在半导体生产中竟能找到意想不到的“用武之地”。问题: 如何在不中断生产的情况下,有效监测和减少地震对半导体晶圆厂的影...