在半导体制造的精密世界里,我们常常忽略了那些看似与制造工艺无关的自然力量——比如地球动力学,地球的微小震动,即地脉动,却可能对晶圆片的加工产生意想不到的影响,地脉动会引发微小的振动,这些振动在高频加工过程中可能被放大,导致晶圆片表面出现微小的划痕或变形,进而影响芯片的性能和可靠性。
为了应对这一挑战,半导体制造商需要采取一系列措施来减少地脉动的影响,这包括在生产设施中安装先进的隔震系统,如主动或被动隔震器,以吸收和减少地脉动传递到晶圆片上的能量,通过精确的地面稳定性监测和实时调整加工参数,也能有效降低地脉动对制造过程的影响。
虽然地球动力学看似与半导体制造无关,但它却是确保高质量芯片生产不可或缺的一环。
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