地球动力学,半导体制造中的隐秘盟友?
在半导体制造的精密世界里,我们常常忽略了那些看似与制造工艺无关的自然力量——比如地球动力学,地球的微小震动,即地脉动,却可能对晶圆片的加工产生意想不到的影响,地脉动会引发微小的振动,这些振动在高频加工过程中可能被放大,导致晶圆片表面出现微小...
在半导体制造的精密世界里,我们常常忽略了那些看似与制造工艺无关的自然力量——比如地球动力学,地球的微小震动,即地脉动,却可能对晶圆片的加工产生意想不到的影响,地脉动会引发微小的振动,这些振动在高频加工过程中可能被放大,导致晶圆片表面出现微小...