吊桥效应在半导体制造中的意外启示,如何优化设备稳定性?
在半导体制造的精密世界里,每一座“吊桥”——即高架输送系统,都是连接生产各环节的动脉,它们承载着价值连城的晶圆,在洁净室的高空中穿梭,确保生产流程的连续与高效,正是这些看似稳固的吊桥,有时却会成为影响生产稳定性的“隐形杀手”。问题: 如何在...
在半导体制造的精密世界里,每一座“吊桥”——即高架输送系统,都是连接生产各环节的动脉,它们承载着价值连城的晶圆,在洁净室的高空中穿梭,确保生产流程的连续与高效,正是这些看似稳固的吊桥,有时却会成为影响生产稳定性的“隐形杀手”。问题: 如何在...