谷雨时节，半导体制造中的湿度挑战与应对策略
在半导体制造的精密工艺中，湿度始终是一个不容忽视的变量，每当谷雨时节来临，自然界中的湿度骤增，这对半导体工厂的洁净室环境构成了新的考验。问题提出：如何在谷雨期间有效控制半导体生产车间的湿度，以避免因湿度过高导致的晶圆氧化、金属腐蚀、薄膜均匀...
在半导体制造的精密工艺中，湿度始终是一个不容忽视的变量，每当谷雨时节来临，自然界中的湿度骤增，这对半导体工厂的洁净室环境构成了新的考验。问题提出：如何在谷雨期间有效控制半导体生产车间的湿度，以避免因湿度过高导致的晶圆氧化、金属腐蚀、薄膜均匀...