在半导体制造的精密世界里,我们常常会遇到一个看似与“高科技”不搭界的元素——盐,在特定的工艺环节中,盐却扮演着不可或缺的角色。
在晶圆清洗过程中,高纯度的去离子水难以完全去除颗粒和金属杂质,这时就需要借助一种名为“湿法清洗”的技术,使用含有特定浓度氯化钠(即食盐)的清洗液能够有效螯合和分散这些杂质,提高清洗效率,在化学机械抛光(CMP)工艺中,盐基抛光液能提供必要的摩擦力,帮助去除晶圆表面的微小不平整,保证晶圆的平整度和质量。
盐的使用也需谨慎,过量的盐或不当的工艺控制可能导致晶圆表面残留盐分,影响器件的电学性能和可靠性,在半导体制造的每一个环节中,对“盐”的精确控制和合理应用是至关重要的,它既是提升产出的助力,也是必须谨慎对待的潜在陷阱。
盐在半导体制造中的角色复杂而微妙,既是对传统智慧的挑战,也是对现代科技精准控制的考验。
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盐,半导体制造中的双刃剑——既是关键助剂又可能成为性能的隐形陷阱。
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