在半导体制造的洁净室环境中,微粒和化学物质的控制至关重要,一个不常被探讨的领域是——水体净化技术如何在这一过程中发挥作用,想象一下,如果将半导体制造的“血液”——高纯度化学试剂的制备与游泳池水处理技术相结合,会有什么样的创新?
答案:
在半导体制造的洁净室中,高纯水是不可或缺的原料之一,其纯度要求极高,通常需要达到18.2兆欧姆的电阻率,这一标准与游泳池水处理中去除杂质、消毒和保持水质清澈的技术不谋而合。
通过借鉴游泳池水循环处理系统的反渗透(RO)和电去离子(EDI)技术,我们可以进一步提升半导体制造用水的水质,RO技术能有效去除水中的离子、有机物和微生物,而EDI技术则能在不添加化学试剂的情况下,进一步将水中的离子浓度降低至极低水平。
紫外线(UV)消毒技术在游泳池中用于杀灭细菌和病毒,同样可以应用于半导体制造中,以防止微生物污染,这种跨领域的思维模式不仅提高了生产效率,还降低了环境风险,为半导体制造的清洁生产开辟了新的路径。
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游泳池的净水科技,启迪半导体制造新思路——清洁生产与水体净化技术融合创新。
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