绿色制造在半导体生产中的实践与挑战，如何平衡环境与经济效益？

在半导体制造的精密工艺背后，隐藏着对环境的影响，随着全球对环境保护意识的增强，如何在不牺牲生产效率与质量的前提下，实现“绿色制造”成为行业的一大挑战。

环境科学在半导体制造中的应用，首先体现在废水的处理上，传统半导体生产过程中产生的废水含有高浓度的化学物质，若直接排放将对环境造成严重污染，通过采用先进的废水处理技术，如反渗透、电渗析等，可有效降低废水中的有害物质含量，实现废水的循环利用或安全排放。

气体排放控制也是关键一环，半导体制造过程中会产生大量含有氟化物、氮氧化物等有害气体的废气，通过安装高效的废气处理系统，如干法洗涤塔、布袋除尘器等，可有效减少废气中的有害物质排放，保护大气环境。

这些“绿色”措施往往伴随着高昂的初期投资和运营成本，如何在保证环境友好的同时，实现经济效益的平衡，是当前半导体制造领域亟待解决的问题。