囚车，半导体制造中的冷门运输难题？

在半导体制造的精密流程中，一个常被忽视的环节是原材料和产品的运输——尤其是涉及高纯度化学品和昂贵晶圆的“囚车”运输，这些“囚车”，作为半导体制造中的特殊运输工具，其设计不仅要确保运输过程中的安全与稳定，还需满足严格的洁净度要求，以防止微粒污染影响产品质量。

一个常被问及的“冷门”问题是：如何确保囚车的内部环境在运输过程中始终处于受控状态？答案在于其独特的构造与先进技术，囚车内部采用特殊材料，如不锈钢或高纯度铝合金，以减少静电和杂质产生，配备有环境监控系统，实时监测温度、湿度及气压等关键参数，确保晶圆在运输过程中免受环境变化的影响，采用气动或电动锁闭系统，确保在运输过程中的密封性，防止任何形式的交叉污染。

看似简单的“囚车”，实则是半导体制造中不可或缺的“守护者”，其背后的技术含量与重要性不容小觑。